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張保國 教授
專家姓名: 張保國 職務:
職稱: 教授 專業類別:
研究方向:
1. 大規模集成電路20-14nm技術節點的化學機械平坦化新工藝的研究

2. 化合物半導體材料表面拋光及清洗加工技術的研究

3. 倒裝LED芯片工藝中關鍵技術的研究

4. 柔性高效太陽能電池新工藝的研究
自我介紹:
教授,博士生導師。2000年,美國內華達大學里諾分校獲工學博士學位;2000-2011年,在美國AXT,Wafer World,SVTC, Alta Devices等半導體高科技公司工作,研究方向:半導體材料(Si, Ge,GaAs, InP等)化學機械拋光和表面清洗,以及集成電路化學機械平坦化工藝(Cu, Ta, W, SiO2等), 擔任高級工程師。2011-2013年,在江蘇省創辦無錫納克斯半導體材料公司,擔任總經理,兼任技術總監。2013年,加入河北工業大學電子與信息工程學院,任特聘教授。江蘇省雙創人才,河北省百人計劃人才,燕趙友誼獎獲得者。

學術成果:微電子技術與材料方向負責人,國際ICPT程序委員會委員、中國半導體協會平坦化技術聯盟執行委員、中國顆粒學會顆粒制備與處理專業委員會委員,承擔河北省科技支撐項目一項。共發表包括《Applied Surface Science》、《ECS Solid State Science and Technology》、《人工晶體學報》等學術論文二十余篇。已發布及獲得知識產權專利四項。
所在單位: 河北工業大學

所在單位:中南大學材料科學與工程學院

所在單位:中南大學粉末冶金研究院

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