中國粉體網訊  隨著新能源汽車、5G、人工智能、物聯網等行業的蓬勃發展，以碳化硅、氮化鎵為代表的第三代寬禁帶半導體材料產業規模不斷擴大，先進陶瓷在半導體行業將迎來更大的應用市場。

從第一屆半導體行業用陶瓷材料技術研討會組委會獲悉，本屆會議將于2022年7月13日在濟南舉辦。三責（上海）新材料科技有限公司作為參展單位邀請您共同出席。

三責（上海）新材料科技有限公司成立于2014年，公司管理總部位于上海， 研發基地和生產工廠位于江蘇省南通開發區。

公司致力于碳化硅陶瓷研發、生產、銷售和工程應用，產品廣泛應用于精細化工和制藥、環保工程、航空航天、石油化工、新能源材料、電子玻璃、微電子和半導體、光學、高溫工業窯爐等領域。

公司擁有核心材料自主知識產權，強勁的新產品、新應用開發能力，為各領域客戶提供優質實用的高性能碳化硅陶瓷解決方案，推動高性能碳化硅陶瓷在節能環保和精密制造的應用。

產品展示

1、碳化硅三角支架

2、碳化硅機械手臂

Coresic® SP碳化硅機械手臂經等靜壓工藝成型、高溫燒結而成。可根據用戶設計圖紙要求進行外形尺寸，厚度尺寸和形狀進行精加工，以滿足用戶的具體使用要求。

• 典型應用
  

用于半導體各制程中晶圓的傳輸。

• 特點和優勢

具有精確的尺寸和熱穩定性

高比剛度和出色的熱均勻性，長期使用不易彎曲變形；

具有光滑的表面，耐磨性佳，從而安全地處理晶片而不產生顆粒污染。

Coresic® SP碳化硅電阻率在106-108Ω、無磁性，符合抗ESD的規范要求；可以防止靜電在晶片表面積聚。

良好的導熱性、低膨脹系數。

• 規格型號

可以根據客戶的圖紙，加工不同形狀和尺寸的手臂。

3、碳化硅真空吸盤

Coresic® SP碳化硅真空吸盤經等靜壓工藝成型、高溫燒結而成。可根據用戶設計圖紙要求進行外形尺寸，厚度尺寸和形狀進行精加工，以滿足用戶的具體使用要求。

• 典型應用

在半導體制造中，將極薄的晶圓放置在碳化硅真空吸盤上，連接真空發生器，利用真空吸力使晶圓固定。

應用于光刻、刻蝕、激光處理、晶圓檢測等制程。

• 特點和優勢

具有精確的尺寸和熱穩定性

良好的導熱性、低膨脹系數和均溫性能

極高的耐磨性和表面光潔度，孔徑細小且分布均勻，對晶圓各區域可以均勻吸附

具有優秀的耐酸堿腐蝕性能

耐電漿沖擊性

• 規格型號

可以根據客戶的圖紙定制加工。

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會務組

聯系人：孔經理

電話：13661095071（同微信）

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